無錫市錫山區(qū)半導體先進制造創(chuàng)新中心的光學非球面超精密復合加工機床UPN150G5,
是針對光學器件加工專門研制的超精密加工機床,整合了磨削、車削以及在機測量功能,一次裝夾可實現(xiàn)納米級光學磨削、車削及在機納米測量和反饋補償,
磨削加工口徑最大Φ150mm,車削加工工件表面粗糙度Ra<1nm,面形精度PV值<0.1μm;
磨削加工工件表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<0.15μm。
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